Jaký je vliv povrchové teploty plátku na suché leptání?

Účinky povrchové teploty na suché leptání zahrnují zejména: depozici polymeru, selektivitu, tok fotorezistu, těkavost produktu a rychlost leptání, morfologii povrchu, leptání, leptání

Depozice polymerů: Polymery vzniklé během procesu se ukládají na povrch, což ovlivňuje rychlost leptání a selektivitu. Teplota ovlivňuje rychlost depozice a stabilitu polymerů, přičemž vysoké teploty rozkládají nebo zmenšují depoziční vrstvy a nízké teploty zvyšují depozici polymeru.

0021-09835 R2Liner je leptaná část.
Selektivita: Selektivita leptacích materiálů a maskovacích materiálů je velmi citlivá na teplotu. Příliš vysoké teploty sníží selektivitu leptání, protože zrychlení rychlosti leptání se bude shodovat s leptací maskou. Fotorezist: Když fotorezist teče při vysokých teplotách, fotorezist změkne, stéká a dokonce se tvoří puchýře, což má za následek zkreslení topografie.
Těkavost produktu a rychlost leptání: Teplota ovlivňuje těkavost vedlejších produktů chemických reakcí a vedlejší produkty jsou při vysokých teplotách těkavější, což pomáhá zvýšit rychlost leptání. Nízké teploty na druhé straně vedou ke zbytkům vedlejších produktů a snižují účinnost leptání.
Topografie leptání: Teplota leptání je blízká teplotě skelného přechodu (Tg) materiálu a topografie povrchu je jednotná. Teplota leptání je mnohem nižší než teplota skelného přechodu a leptání povrchu je nerovnoměrné a drsnost je velká.