Co je Esc?

0040-99952 Esc

 

Polovodiče jsou materiály, které mají elektrickou vodivost mezi izolátory a vodiči. Obvykle se používají v zařízeních, jako jsou tranzistory, diody a integrované obvody. Aby bylo dosaženo požadované funkčnosti, jsou polovodiče často konstruovány se specifickými nečistotami, čímž vznikají polovodiče typu n a p.

Jednou z výzev při práci s polovodiči je udržení přesné kontroly nad jejich polohou a vyrovnáním. Zde přicházejí na řadu elektrostatická sklíčidla (ESC). Elektrostatické sklíčidlo je zařízení, které využívá statickou elektřinu k udržení předmětů na místě. V případě polovodičů se ESC běžně používají k držení waferů během zpracování.

ESC fungují tak, že generují vysokonapěťové elektrostatické pole mezi dvěma nebo více elektrodami. Jedna z elektrod je nabita vysokým napětím, zatímco druhá elektroda (elektrody) je uzemněna. To vytváří silnou přitažlivou sílu mezi nabitou elektrodou a destičkou, která ji pevně drží na místě.

Existují dva hlavní typy ESC: mechanické a bezkontaktní. Mechanická sklíčidla používají fyzické upínací mechanismy k udržení destičky na místě. Na druhé straně bezkontaktní sklíčidla využívají elektrostatickou přitažlivou sílu k udržení destičky na místě bez jakéhokoli fyzického kontaktu.

Bezkontaktní ESC jsou preferovány v mnoha aplikacích, protože eliminují riziko kontaminace z fyzického kontaktu s plátkem. Poskytují také rovnoměrnější upínací síly, což může pomoci snížit napětí a deformaci v plátku.

Závěrem lze říci, že polovodiče jsou materiály s jedinečnými elektrickými vlastnostmi, které se používají v široké škále elektronických zařízení. Elektrostatická upínače představují důležitý nástroj pro polohování a vyrovnávání polovodičů během zpracování. Využitím elektrostatické přitažlivé síly mohou ESC poskytovat přesné a rovnoměrné upínací síly bez fyzického kontaktu, což umožňuje pokročilé techniky výroby polovodičů.