Co dělá sprchová hlavice PECVD?

0020-30797 Sprchová hlavice s perforovaným talířem

0021-35869 SHOWERHEAD

 

Co dělá sprchová hlavice v procesu PECVD?

Jak je znázorněno na obrázku výše, sprchová hlavice, přeloženo také jako sprchová hlavice, sprchová hlavice atd., obvykle těsně přiléhá k horní části reakční zóny a funguje jako přívod plynu, který vstřikuje reakční plyn rovnoměrně do komory malými otvory. na jeho povrchu. Nejde samozřejmě jen o funkci rozvodu plynu, některé jsou určeny k použití jako součást elektrody.
Funkce Sprchová hlavice?

Povrch sprchové hlavice je pokryt hustými póry a poté, co reakční plyn přiteče dovnitř, je rovnoměrně rozdělen na několik částí a převeden na horní část waferu konstantní rychlostí, takže reakční plyn rovnoměrně pokryje celý povrch plátku pro vytvoření rovnoměrnějšího povlaku. Když je sprchová hlavice součástí elektrody, vysokofrekvenční zdroj energie generuje na svém povrchu rovnoměrné elektrické pole, schopné vytvořit homogenní plazmu.

Jaký kov se obecně používá k výrobě sprchové hlavice?

Nejběžnější je hliník, který má vysokou tepelnou vodivost a odolnost proti korozi. K výrobě sprchové hlavice lze použít i křemen nebo keramiku.