Předvakuový dopravník (Loadlock) a hlavní tělo přenášecí plošiny

Předvakuový dopravník je přenosová komora pro atmosféru a vakuum, která se používá k izolaci reakční komory od přímého kontaktu s vnější atmosférou, aby byla zajištěna čistota reakční komory a snížena pravděpodobnost kontaminace reakce. komora. Když přední modul potřebuje vyzvednout a umístit plátek na předvakuový dopravník, musí být naplněn dusíkem, tlak vzduchu v dutině je nastaven na atmosférický stav a poté převodový ventil předvakuového dopravníku - vakuový dopravník na straně předního modulu se otevře pro vyzvednutí a umístění plátku; Při odebírání a vkládání destiček z přenášecí komory (součást přenášecí plošiny) do předvakuového přenášecího tělesa je nutné pomocí vývěvy odčerpat plyn v předvakuovém přenášecím tělese, přizpůsobit se podtlaku stavu a poté otevřete přenosový ventil na druhé straně předvakuového přenosového tělesa a poté proveďte výběr a umístění plátku.

Konkrétní kroky pro přepravu oplatky v přepravním systému jsou následující: všechna dvířka se zavřou→ otevře se otvor pro vkládání oplatek, otevřou se dvířka kazety oplatek→ atmosférický manipulátor uchopí oplatku z oplatkové lodičky kazety → wafer se umístí na zarovnávač → pozice waferu je zkalibrována → plynný dusík se naplní do LoadLockA → dvířka LoadLockA se otevřou → atmosférický manipulátor umístí wafer do LoadLockA → zavře dvířka LoadLockA → LoadLockA podtlaky → otevře dvířka reakční komory → Prázdný manipulátor vloží plátek do reakční komory → proběhne reakce → po ukončení reakce se reakční komora vysaje → otevřou se dvířka přenášecí komory → vakuový manipulátor přesune wafer do přenosové komory→ zavře dveře reakční komory→ otevře dvířka LoadLockB, → vakuový manipulátor přesune wafer do LoadLockB→ zavře dvířka LoadLockB→ LoadLockB se naplní dusíkem → otevře dvířka LoadLockB→ atmosférický manipulátor přesune wafer z LoadLockB → zavře LoadLockB